반도체와 디스플레이의 제조 기술이 비약적으로 발전함에 따라 분자 단위 이하 이물질의 개입도 허용되지 않는 최고 수준의 청결이 요구되는 진공 환경이 미세공정 등의 분야에서 점점 더 확대되고 있습니다.

10^-7 Torr 이하의 고진공 환경에서는 물질이 고유의 물성치를 유지하기가 대기압보다 힘든 환경입니다. 낮은 압력으로 인해 분자 간 결합이 느슨해져 Outgassing이 발생하면 챔버 내부가 오염되거나 물질 고유의 물성치를 잃어버릴 수도 있게 됩니다. Outgassing 이외에도 진공 환경에서 움직이는 동안 대기압과는 다른 형태의 문제들이 발생하게 됩니다.

PTFE의 화학적 안정성은 고진공 환경에서 물성 변화를 방지하고 청정도 유지가 가능하게 합니다. 절연체와 외부 자켓 이외에 고진공의 진공 챔버 내에서 가동하는 케이블의 전도체는 진공 환경에 적합하도록 선정되어야 합니다.

Gore(고어)는 고진공 환경에 적합한 케이블을 제조하기 위한 전용 제조 공정을 갖추고 있으며 고객의 요구조건에 맞는 진공용 케이블을 공급하기 위해 까다로운 설계, 제조 공정 관리, 그리고 엄격한 테스트를 수행하고 있습니다.

반도체, 디스플레이 등의 제조에서 진공 챔버 내부의 Outgassing은 주로 탄화수소(C_xH_y)와 수분(H₂O)의 제어가 문제입니다. 고어의 케이블은 PTFE 등 가장 화학적 안정성이 뛰어난 불소 화합물을 피복 및 외피로 사용하여 피복 내부 부품에 잔류하고 있는 여타 성분이 빠져나오는 것을 원천적으로 차단합니다.

고어의 케이블 제품은 1960년대부터 NASA와 ESA 등의 우주 프로그램에 필수적으로 채택되고 있어 수십 년간 진공 환경에 적합한 케이블 제작 기술을 보유하고 있습니다.

최근 초미세 선폭의 반도체 제작을 위해 필수적인 EUV 장비에는 고어의 진공용 케이블이 장착되고 있으며 이외에도 많은 반도체, 디스플레이 제조 공정에 다양하게 적용되고 있습니다.