분진 최소화
가동형 케이블시스템의 분진은 대부분 케이블 및 기타 부품의 간섭 등에 의해 발생하는 마찰과 마모로 인해 발생합니다.
마찰과 마모(로 인한 분진)를 최소화하기 위해서는 최적의 재질과 구성을 갖춘 케이블 제품과 숙련된 어셈블리 설계 기술이 요구됩니다.
가동형 케이블의
분진 발생 사유
케이블 간 간섭
케이블과 케이블 캐리어(케이블 체인, 케이블 베어)간 간섭
케이블과 기타 기구물 간의 간섭
가동형 케이블의
분진 대책
마찰계수가 낮은 케이블 자켓의 사용 (GORE® 하이 플렉스 플랫 케이블)
케이블 캐리어가 없는 자체 지지 구조 (GORE® 트랙리스 하이 플렉스 케이블)
케이블 간 접촉부의 마모를 줄일 수 있는 장착 구조
기타 기구물과의 간섭 회피 및 보호
설치 및 고정 방식
가동형 케이블 시스템별
분진 측정 결과
Gore(고어)는 1990년대부터 반도체 제조 현장의 클린룸 내부에 사용되는 장비에 GORE® 하이 플렉스 플랫 케이블을 공급하여 왔으며 Clean Class 별 사용 적합 여부를 객관적으로 확인하기 위해 독일 소재 제3기관인 Fraunhofer에 테스트를 의뢰하여 클린룸 내 가동 시 분진 발생을 측정하였습니다. 클린룸 전용 케이블인 GORE® 트랙리스 하이 플렉스 케이블을 개발한 후 여러 가지 가동형 케이블 시스템과의 분진 발생 정도를 비교하기 위해 ISO 14644-1 규격에 따른 테스트를 실시하였습니다.
아래 표의 테스트 결과는 일반적인 케이블 체인의 내부에 GORE® 하이 플렉스 플랫 케이블과 라운드 케이블을 설치한 시스템 2종과 GORE® 트랙리스 하이 플렉스 케이블을 비교한 것입니다. 결과에서 알 수 있듯이 GORE® 트랙리스 하이 플렉스 케이블은 비교할 수 없는 수준의 우수한 분진 억제 효과를 보여주고 있습니다.
| Cable | Cable Chain |
Velocity | ISO Class Certification | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 ㎧ | 1.0 ㎧ | 2.0 ㎧ | |||
| GORE® Trackless Cable | None | Class 1 | Class 1 | Class 1 | Class 1 |
| GORE® High-Flex Flat Cables / Round Cables |
B | Class 5 | Class 5 | Class 5 | Class 5 |
추가 분진 측정 결과
ISO 14644-1 규격에 따른 테스트는 케이블의 실제 사용 환경과는 다를 수 있으며 기대수명에 이르는 기간 동안 테스트를 수행하지 않기 때문에
실제 장비에 적용하여 현장에서 일정 기간 가동 후 발생하는 분진의 양과는 차이가 있을 수 있습니다.
고어는 이에 따라 100만 회까지 추가로 연장 테스트를 하여 동일한 ISO Class 1 수준을 만족함을 확인하였습니다. 케이블의 외형은 비슷하여도
외피 및 내부 구성부품의 설계 기술은 제품 적용에 대한 수십 년간의 경험과 연구개발 없이 단순히 유사한 외형을 만들기 위한 부품들의 조합만으로는 모방이 불가합니다.
| Parameter | Air Cleanliness Class |
|---|---|
| Cycles 20187-24631 (approx.) v= 2.0 ㎧; a=4.0 ㎨; 100min | 1 |
| Cycles 131298-135742 (approx.) v= 2.0 ㎧; a=4.0 ㎨; 100min | 1 |
| Cycles 509075-513519 (approx.) v= 2.0 ㎧; a=4.0 ㎨; 100min | 1 |
| Cycles 1046852-1051296 (approx.) v= 2.0 ㎧; a=4.0 ㎨; 100min | 1 |
| Overall result | 1 |